Varian 969-8904 Používateľská príručka

Stránka sa načítava ...

Turbo-V 81-M

Stránka sa načítava ...

NÁVOD K POUŽITIU

43 87-900-983-01(B)

Bezpečnostný návod

pre

Turbomolekulárne vývevy

Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo

kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich

rotorov.

V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa

može uvolniť rotačná energia.

,

VAROVANIE!

Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť prísne

dodržované za účelom prevencie zranenia obsluhy!

NÁVOD K POUŽITIU

44 87-900-983-01(B)

VŠEOBECNÉ INFORMÁCIE

Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov.

Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na

použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Varian. Spoločnosť

Varian nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti,

zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani

v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi, zapríčinené

nesprávnym používaním zariadenia nepoučenými osobami,

neoprávnenou úpravou zariadenia alebo akýmkoľvek

postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými štandardmi danej

krajiny.

Čerpadlá série Turbo-V 81-M sú turbomolekulárnymi

čerpadlami na vytvorenie vysokého a ultravysokého vákua,

ktoré sú schopné odčerpať ľubovoľný nekorozívny druh plynu

alebo plynnej zmesi. Nie sú vhodné na čerpanie kvapalín alebo

tuhých častíc.

Vyčerpávanie zabezpečuje veľmi rýchla turbína (max. 80000

otáčok/minútu), poháňaná vysokovýkonným 3-fázovým

elektrickým motorom. Zariadenie Turbo-V 81-M neobsahuje

žiadne kontaminačné činidlá, a preto sa hodí pre aplikácie,

vyžadujúce „čisté“ vákuum.

Nasledujúce časti obsahujú všetky potrebné informácie, ktoré

zaručujú bezpečnosť pracovníka v priebehu práce so

zariadením. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku

„Technické informácie“.

Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia:

,

VAROVANIE!

Varovania majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý

postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže

spôsobiť vážne zranenie.

 UPOZORNENIE

Upozornenia označujú postupy, nedodržanie ktorých môže

spôsobiť poškodenie zariadenia.

POZNÁMKA

Poznámky upozorňujú na dôležité informácie z textu.

UCHOVÁVANIE

Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy značky Varian

podávali maximálny a spoľahlivý výkon, dodržiavajte nasledujú-

ce pokyny:

• neprekračujte nasledujúce špecifikácie prostredia počas

prevozu, prenášania a uchovávania vývev:

• rozsah teplôt: -20 °C až 70 °C

• rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 95% (bez

kondenzácie)

• zákazník musí pri prvom spustení turbo vývevy vždy

použiť režim soft štartu

• skladovateľnosť turbomolekulárnej vývevy je 10 mesiacov

odo dňa dodania.

 UPOZORNENIE

Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti

zariadenia, vráťte vývevu do závodu, v ktorom bola vyrobená.

Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Varian

pre predaj a servis.

PRÍPRAVA NA INŠTALÁCIU

Zariadenie Turbo-V 81-M sa dodáva v špeciálnom ochrannom

balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad

počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti

Varian.

Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie

nespadlo, nebolo vystavené nárazu alebo prudkému otrasu,

alebo vibráciám.

Obalový materiál zlikvidujte predpísaným spôsobom. Materiál

je 100% recyklovateľný a spĺňa požiadavky smernice EEC

85/399.

 UPOZORNENIE

Ak chcete predísť problémom s odplyňovaním, nechytajte

komponenty, ktoré budú vystavené vákuu holými rukami. Vždy

používajte rukavice alebo inú vhodnú ochranu.

POZNÁMKA

Bežné vystavenie vplyvu prostredia nemôže zariadenie Turbo-V

81-M poškodiť. Napriek tomu je vhodné, aby zariadenie zostalo

zabalené až do inštalácie kvôli prevencii kontaminácie

prachom.

INŠTALÁCIA

 UPOZORNENIE

Neodstraňujte lepiacu pásku a ochranný kryt skôr, než pripojíte

turbovývevu k systému.

Vývevu neinštalujte ani nepoužívajte v prostredí vystavenom

vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach, korozívne plyny,

ani vo výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje vysoké

riziko požiaru. Počas činnosti zariadenia je potrebné

zabezpečiť tieto vlastnosti prostredia:

− maximálny pretlak: 2 bary nad úrovňou atmosférického

tlaku

− teplota: od +5 °C do +35 °C (pozri závislosť tlaku od teploty

v dodatku “Technické Informácie”)

− relatívna vlhkosť: 0 -95% (bez kondenzácie)

V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená

feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú

v dodatku „Technické informácie“.

NÁVOD K POUŽITIU

45 87-900-983-01(B)

Turbomolekulárne čerpadlá série Turbo-V 81-M sa môžu

používať len s niektorým z príslušných kontrolných zariadení

Varian a musia byť zapojené na primárne čerpadlo (viď schému

v materiále “Technical Information”).

K dispozícii sú nasledujúce kontrolné zariadenia:

- Rack controller 81-AG: 969-8988

- Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989

- Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990

- PCB 24 V 969-9538

Zariadenie Turbo-V 81-M môže byť nainštalované v ľubovoľnej

polohe.. Upevnite Turbo-V 81-M do stabilnej polohy pripojením

vstupnej príruby turbovývevy k pevnej prírube, upevnenej tak,

aby vydržala namáhanie krútiacim momentom 1000 Nm okolo

svojej osi.

Napríklad príruba typu ISO 63 môže byť pripevnená oceľovými

svorkami s vysokou pevnosťou (napr. model Varian IC 63250

DCMZ). Nasledujúca tabuľka ukazuje, pre každý typ príruby

potrebný počet svoriek a príslušný upevňovací krútiaci moment.

PRÍRUBA UPEVŇOVACÍ

MECHANIZMUS

POČET UŤAHOVACÍ

KRÚTIACI

MOMENT

svorky M10 4 22 Nm ISO 63

kleštiny M8 4 11 Nm

Turbovýveva so vstupnou prírubou ConFlat musí byť pripojená

k vákuovej komore pomocou vhodného hardware značky

Varian. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku

„Technické informácie“.

POZNÁMKA

Zariadenie Turbo-V 81-M sa nemôže upevniť pomocou vlastnej

základne.

 UPOZORNENIE

Zariadenie Turbo-V 81-M patrí do druhej inštalačnej

(prepäťovej) kategórie podľa smernice EN 61010-1. Zariadenie

je potrebné pripojiť ku zdroju napájania, ktorý vyhovuje

uvedenej kategórii.

O inštalácia doplnkovej výbavy pozri príručku “Technické

Informácie”.

POUŽITIE

Všetky inštrukcie, potrebné pre správnu prevádzku turbočerpadla,

sú uvedené v príručke kontrolnej jednotky. Pred použitím si túto

príručku pozorne preštudujte.

Aby sa dosiahli lepšie hraničné hodnoty tlaku, možno systém

vyhriať.

Pri zahrievaní vákuovej komory nesmie teplota na vstupnej

prírube prekročiť hodnotu 120°C u obrubového systému

ConFlat a 80°C u obrubového systému ISO.

Pri vyhrievaní používajte vždy chladenie vodou.

,

VAROVANIE!

Nikdy nepoužívajte turbovývevu, ak vstupná príruba nie je

pripojená k vákuovej komore, alebo nie je zablendovaná.

V priebehu zahrievania sa nikdy nedotýkajte turbovývevy ani

žiadneho príslušenstva. Vysoké teploty môžu spôsobiť

popáleniny

 UPOZORNENIE

Dbajte na to, aby výveva počas činnosti nebola vystavená

nárazom, kmitaniu alebo prudkým pohybom. Mohli by sa

poškodiť ložiská.

Vývevu preplachujte pomocou vzduchu alebo inertného plynu,

zbaveného prachu a častíc. Tlak na preplachovacom vstupe

musí byť nižší než 2 bar (pretlakový).

Vývevy sú vybavené špeciálnym vstupom na vyčerpávanie

agresívnych plynov, ktoré umožňujú stabilný tok inertného plynu

(Dusík a hélium) kvôli ochrane ložísk vývevy (pozri dodatok

„Technické informácie“).

,

VAROVANIE!

Ak vývevu používate na vyčerpávanie toxických, horľavých

alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované

postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov.

Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov.

ÚDRŽBA

Čerpadlá série Turbo-V 81-M nevyžadujú žiadnu údržbu.

Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný

personál.

,

VAROVANIE!

Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od

zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný

ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať a kým teplota

povrchu vývevy neklesne pod 50 şC.

V prípade poruchy zariadenia vyhľadajte kontaktné stredisko

spoločnosti Varian, kde vám pokazený systém vymenia.

POZNÁMKA

Skôr než systém odošlete na opravu alebo výmenu, musíte

vyplniť dotazník “Zdravie a bezpečnosť”,

Dotazník pripojený k návodu na použitie je potrebné vyplniť a

odoslať miestnemu predajcovi. Kópiu dotazníka vložte do balíka

so systémom a odošlite spolu s ním.

Ak je potrebná likvidácia systému, musí prebehnúť v súlade so

špecifickými predpismi danej krajiny.

LIKVIDÁCIA

Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch.

Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s

názvom "WEEE".

Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená,

že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s

bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí

odstrániť ako delený odpad.

Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s

dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za

účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja.

Stránka sa načítava ...

Varian 969-8904 Používateľská príručka

Táto príručka je tiež vhodná pre

Varian 969-8904 Používateľská príručka

V iných jazykoch

Súvisiace články

Ďalšie dokumenty