969-8904

Varian 969-8904, 969-8901, 969-8902, 969-8903, Turbo-V 81-M, Turbo-V 81-M Series Používateľská príručka

  • Prečítal som si používateľskú príručku pre turbomolekulárne pumpy Varian Turbo-V 81-M. Som pripravený odpovedať na vaše otázky týkajúce sa inštalácie, prevádzky a údržby. Príručka obsahuje informácie o bezpečnosti, inštalácii, prevádzke a riešení problémov. Môžem vám pomôcť s akýmikoľvek otázkami.
  • Ako mám nainštalovať pumpu?
    Aké sú prevádzkové podmienky pumpy?
    Čo robiť v prípade poruchy?
    Vyžaduje si pumpa údržbu?
Turbo-V 81-M
NÁVOD K POUŽITIU
43 87-900-983-01(B)
Bezpečnostný návod
pre
Turbomolekulárne vývevy
Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo
kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich
rotorov.
V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa
može uvolniť rotačná energia.
,
VAROVANIE!
Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť prísne
dodržované za účelom prevencie zranenia obsluhy!
NÁVOD K POUŽITIU
44 87-900-983-01(B)
VŠEOBECNÉ INFORMÁCIE
Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov.
Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na
použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Varian. Spoločnosť
Varian nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti,
zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani
v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi, zapríčinené
nesprávnym používaním zariadenia nepoučenými osobami,
neoprávnenou úpravou zariadenia alebo akýmkoľvek
postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými štandardmi danej
krajiny.
Čerpadlá série Turbo-V 81-M sú turbomolekulárnymi
čerpadlami na vytvorenie vysokého a ultravysokého vákua,
ktoré sú schopné odčerpať ľubovoľný nekorozívny druh plynu
alebo plynnej zmesi. Nie sú vhodné na čerpanie kvapalín alebo
tuhých častíc.
Vyčerpávanie zabezpečuje veľmi rýchla turbína (max. 80000
otáčok/minútu), poháňaná vysokovýkonným 3-fázovým
elektrickým motorom. Zariadenie Turbo-V 81-M neobsahuje
žiadne kontaminač činidlá, a preto sa hodí pre aplikácie,
vyžadujúce „čisté“ vákuum.
Nasledujúce časti obsahujú všetky potrebné informácie, ktoré
zaručujú bezpečnosť pracovníka v priebehu práce so
zariadením. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku
„Technické informácie“.
Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia:
,
VAROVANIE!
Varovania majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý
postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže
spôsobiť vážne zranenie.
UPOZORNENIE
Upozornenia označujú postupy, nedodržanie ktorých môže
spôsobiť poškodenie zariadenia.
POZNÁMKA
Poznámky upozorňujú na dôležité informácie z textu.
UCHOVÁVANIE
Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy značky Varian
podávali maximálny a spoľahlivý výkon, dodržiavajte nasledujú-
ce pokyny:
neprekračujte nasledujúce špecifikácie prostredia počas
prevozu, prenášania a uchovávania vývev:
rozsah teplôt: -20 °C až 70 °C
rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 95% (bez
kondenzácie)
zákazník musí pri prvom spustení turbo vývevy vždy
použiť režim soft štartu
skladovateľnosť turbomolekulárnej vývevy je 10 mesiacov
odo dňa dodania.
UPOZORNENIE
Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti
zariadenia, vráťte vývevu do závodu, v ktorom bola vyrobená.
Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Varian
pre predaj a servis.
PRÍPRAVA NA INŠTALÁCIU
Zariadenie Turbo-V 81-M sa dodáva v špeciálnom ochrannom
balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad
počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti
Varian.
Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie
nespadlo, nebolo vystavené nárazu alebo prudkému otrasu,
alebo vibráciám.
Obalový materiál zlikvidujte predpísaným spôsobom. Materiál
je 100% recyklovateľný a spĺňa požiadavky smernice EEC
85/399.
UPOZORNENIE
Ak chcete predísť problémom s odplyňovaním, nechytajte
komponenty, ktoré budú vystavené vákuu holými rukami. Vždy
používajte rukavice alebo inú vhodnú ochranu.
POZNÁMKA
Bežné vystavenie vplyvu prostredia nemôže zariadenie Turbo-V
81-M poškodiť. Napriek tomu je vhodné, aby zariadenie zostalo
zabalené až do inštalácie kvôli prevencii kontaminácie
prachom.
INŠTALÁCIA
UPOZORNENIE
Neodstraňujte lepiacu pásku a ochranný kryt skôr, než pripojíte
turbovývevu k systému.
Vývevu neinštalujte ani nepoužívajte v prostredí vystavenom
vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach, korozívne plyny,
ani vo výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje vysoké
riziko požiaru. Počas činnosti zariadenia je potrebné
zabezpečiť tieto vlastnosti prostredia:
maximálny pretlak: 2 bary nad úrovňou atmosférického
tlaku
teplota: od +5 °C do +35 °C (pozri závislosť tlaku od teploty
v dodatku “Technické Informácie”)
relatívna vlhkosť: 0 -95% (bez kondenzácie)
V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená
feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú
v dodatku „Technické informácie“.
NÁVOD K POUŽITIU
45 87-900-983-01(B)
Turbomolekulárne čerpadlá série Turbo-V 81-M sa môžu
používať len s niektorým z príslušných kontrolných zariadení
Varian a musia byť zapojené na primárne čerpadlo (viď schému
v materiále “Technical Information”).
K dispozícii sú nasledujúce kontrolné zariadenia:
- Rack controller 81-AG: 969-8988
- Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989
- Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990
- PCB 24 V 969-9538
Zariadenie Turbo-V 81-M môže byť nainštalované v ľubovoľnej
polohe.. Upevnite Turbo-V 81-M do stabilnej polohy pripojením
vstupnej príruby turbovývevy k pevnej prírube, upevnenej tak,
aby vydržala namáhanie krútiacim momentom 1000 Nm okolo
svojej osi.
Napríklad príruba typu ISO 63 môže byť pripevnená oceľovými
svorkami s vysokou pevnosťou (napr. model Varian IC 63250
DCMZ). Nasledujúca tabuľka ukazuje, pre každý typ príruby
potrebný počet svoriek a príslušný upevňovací krútiaci moment.
PRÍRUBA UPEVŇOVA
MECHANIZMUS
POČET UŤAHOVACÍ
KRÚTIACI
MOMENT
svorky M10 4 22 Nm ISO 63
kleštiny M8 4 11 Nm
Turbovýveva so vstupnou prírubou ConFlat musí byť pripojená
k vákuovej komore pomocou vhodného hardware značky
Varian. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku
„Technické informácie“.
POZNÁMKA
Zariadenie Turbo-V 81-M sa nemôže upevniť pomocou vlastnej
základne.
UPOZORNENIE
Zariadenie Turbo-V 81-M patrí do druhej inštalačnej
(prepäťovej) kategórie podľa smernice EN 61010-1. Zariadenie
je potrebné pripojiť ku zdroju napájania, ktorý vyhovuje
uvedenej kategórii.
O inštalácia doplnkovej výbavy pozri príručku “Technické
Informácie”.
POUŽITIE
Všetky inštrukcie, potrebné pre správnu prevádzku turbočerpadla,
sú uvedené v príručke kontrolnej jednotky. Pred použitím si túto
príručku pozorne preštudujte.
Aby sa dosiahli lepšie hraničné hodnoty tlaku, možno systém
vyhriať.
Pri zahrievaní vákuovej komory nesmie teplota na vstupnej
prírube prekročiť hodnotu 120°C u obrubového systému
ConFlat a 80°C u obrubového systému ISO.
Pri vyhrievaní používajte vždy chladenie vodou.
,
VAROVANIE!
Nikdy nepoužívajte turbovývevu, ak vstupná príruba nie je
pripojená k vákuovej komore, alebo nie je zablendovaná.
V priebehu zahrievania sa nikdy nedotýkajte turbovývevy ani
žiadneho príslušenstva. Vysoké teploty môžu spôsobiť
popáleniny
UPOZORNENIE
Dbajte na to, aby výveva počas činnosti nebola vystavená
nárazom, kmitaniu alebo prudkým pohybom. Mohli by sa
poškodiť ložiská.
Vývevu preplachujte pomocou vzduchu alebo inertného plynu,
zbaveného prachu a častíc. Tlak na preplachovacom vstupe
musí byť nižší než 2 bar (pretlakový).
Vývevy sú vybavené špeciálnym vstupom na vyčerpávanie
agresívnych plynov, ktoré umožňujú stabilný tok inertného plynu
(Duk a lium) kvôli ochrane ložísk vývevy (pozri dodatok
„Technické informácie“).
,
VAROVANIE!
Ak vývevu používate na vyčerpávanie toxických, horľavých
alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované
postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov.
Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov.
ÚDRŽBA
Čerpadlá série Turbo-V 81-M nevyžadujú žiadnu údržbu.
Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný
personál.
,
VAROVANIE!
Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od
zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný
ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať a kým teplota
povrchu vývevy neklesne pod 50 şC.
V prípade poruchy zariadenia vyhľadajte kontaktné stredisko
spoločnosti Varian, kde vám pokazený systém vymenia.
POZNÁMKA
Skôr než systém odošlete na opravu alebo výmenu, musíte
vyplniť dotazník “Zdravie a bezpečnosť”,
Dotazník pripojený k návodu na použitie je potrebné vyplniť a
odoslať miestnemu predajcovi. Kópiu dotazníka vložte do balíka
so systémom a odošlite spolu s ním.
Ak je potrebná likvidácia systému, musí prebehnúť v súlade so
špecifickými predpismi danej krajiny.
LIKVIDÁCIA
Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch.
Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s
názvom "WEEE".
Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená,
že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s
bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí
odstrániť ako delený odpad.
Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s
dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za
účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja.
/