Converters.TV 702 Používateľská príručka

T

V 702 SEM

Pump models

869-8938, 869-8938R001, 869-8938R002,

869-8938R003

Controller models

969-8977, 969-9545, 969-9945

Manuale di istruzioni Instruksjon manual

Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja

Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv

Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji

Manual de istruções Návod k použití

Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu

Istrukstionsbog Priročnik za navodila

Bruksanvisning User Manual

87-900-992-01 (A)

04/2011

Stránka sa načítava ...

Contents

TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 11/270

Údržba 169

Likvidace 170

14 Návod na Obsluhu 171

Bezpečnos

tný návod pre Turbomolekulárne vývevy 172

Všeobecné informácie 173

Uchovávanie 174

Príprava na inštaláciu 175

Inštalácia 176

Upevnenie vývevy 177

Použitie 179

Údržba 181

Likvidácia 182

15 Priročnik za Navodila 183

Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 184

Splošne informacije 185

Shranjevanje 186

Priprava za montažo 187

Montaža 188

Pritrjevanje črpa

lke 189

Uporaba 191

Vzdrževanje 193

Odlaganje opadkov 194

Stránka sa načítava ...

TV 702 SEM User Manual

171/270

14

Návod na Obsluhu

Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy 172

Všeobecné informácie 173

Uchovávanie 174

Príprava na inštaláciu 175

Inštalácia 176

Upevnenie vývevy 177

Použitie 179

Zapnutie a použitie zariadenia TV 702 SEM 180

Vypnutie zariadenia TV 702 SEM 180

Núdzové zastavenie 181

Údržba 181

Likvidácia 182

P

reklad originálneho návodu

14

Návod na Obsluhu

Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy

172/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)

Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy

Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú

veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti

v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov.

V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora

alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť rotačná energia.

NEBEZPEČÍE!

Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť prísne dodržované za

účelom prevencie zranenia obsluhy!

Návod na Obsluhu

Všeobecné informácie

14

TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 173/270

Všeobecné informácie

Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než

začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky

ďalšie pokyny spoločnosti Agilent. Spoločnosť Agilent nenesie žiadnu

zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené postupom, ktorý

nie je v súlade, dokonca ani v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi,

zapríčinené nesprávnym používaním zariadenia nepoučenými

osobami, neoprávnenou úpravou zariadenia alebo akýmkoľvek

postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými štandardmi danej

krajiny.

Zariadenia série TV 702 SEM sú turbomolekulárne vývevy pre

aplikácie s vysokým a ultravysokým vákuom. Systém dokáže vyčerpať

ľubovoľný typ plynu alebo zmesi plynov. Nie je vhodný na

vyčerpávanie tekutín alebo pevných častí. Vyčerpávanie zabezpečuje

veľmi rýchla turbína (max. 42000 otáčok/minútu), poháňaná

vysokovýkonným 3-fázovým elektrickým motorom. Zariadenie TV 702

SEM neobsahuje žiadne kontaminačné činidlá, a preto sa hodí pre

aplikácie, vyžadujúce „čisté“ vákuum.

Zariadenie je vybavené pomocnými konektormi na pripojenie

ďalšieho ventilátora, na ovládanie vetracieho ventilu a kvôli možnosti

ovládania zo vzdialeného miesta pomocou hostiteľského počítača,

pripojeného cez sériovú komunikačnú linku (RS232 alebo RS485).

Nasledujúce časti obsahujú všetky potrebné informácie, ktoré

zaručujú bezpečno

sť pracovníka v priebehu práce so zariadením.

Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technical

Information“.

14

Návod na Obsluhu

Uchovávanie

174/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)

Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia:

NEBEZPEČÍE!

Varovania majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo

činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie.

POZOR!

Upozornenia označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie

zariadenia.

POZNÁMKA

Poznámky upozorňujú na dôležité informácie z textu.

Uchovávanie

Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy značky Agilent podávali

maximálny a spoľahlivý výkon, dodržiavajte nasledujúce pokyny:

 neprekračujte nasledujúce špecifikácie prostredia počas prevozu,

prenášania a uchovávania vývev:

 rozsah teplôt: -20 °C až 70 °C

 rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 95 % (bez kondenzácie)

 zákazník musí pri prvom spustení turbo vývevy vždy použiť režim

soft štartu

 skladovateľnosť turbomolekulárnej vývevy je 10 mesiacov odo

dňa dodania.

Návod na Obsluhu

Príprava na inštaláciu

14

TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 175/270

POZOR!

Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia, vráťte vývevu

do závodu, v ktorom bola vyrobená. Informácie získate u miestneho zastúpenia

spoločnosti Agilent pre predaj a servis.

Príprava na inštaláciu

Zariadenie TV 702 SEM sa dodáva v špeciálnom ochrannom balení.

Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy),

obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent.

Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie nespadlo,

nebolo vystavené nárazu alebo prudkému otrasu, alebo vibráciám.

Obalový materiál zlikvidujte predpísaným spôsobom. Materiál je

100% recyklovateľný a spĺňa požiadavky smernice EEC 85/399.

POZOR!

Ak chcete predísť problémom s odplyňovaním, nechytajte komponenty, ktoré

budú vystavené vákuu holými rukami. Vždy používajte rukavice alebo inú

vhodnú ochranu.

POZNÁMKA

Bežné vystavenie vplyvu prostredia nemôže zariadenie TV 702 SEM poškodiť.

Napriek tomu je vhodné, aby zariadenie zostalo zabalené až do inštalácie kvôli

prevencii kontaminácie prachom.

14

Návod na Obsluhu

Inštalácia

176/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)

Postava 1

Inštalácia

POZOR!

Neodstraňujte lepiacu pásku a ochranný kryt skôr, než pripojíte turbovývevu

k systému.

Postava 2

Návod na Obsluhu

Upevnenie vývevy

14

TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 177/270

Vývevu neinštalujte ani nepoužívajte v prostredí vystavenom

vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach, korozívne plyny, ani vo

výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje vysoké riziko

požiaru. Počas činnosti zariadenia je potrebné zabezpečiť tieto

vlastnosti prostredia:

 maximálny pretlak: 2 bary nad úrovňou atmosférického tlaku

 teplota: od +5 °C do +35 °C (pozri závislosť tlaku od teploty v

dodatku “Technical Information”)

 relatívna vlhkosť: 0 -95 % (bez kondenzácie)

V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená

feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú

v dodatku „Technical Information“.

Zariadenie TV 702 SEM sa musí pripojiť k primárnej výveve (pozri

„Technical Information“).

Upevnenie vývevy

NEBEZPEČÍE!

Ak sa objaví chyba rotora, pripojenie vývevy k systému bude vystavené

silnému točivému momentu. Ak pripojenie nie je dostatočne pevné, aby

točivému momentu odolalo, môže sa odpojiť výveva od systému alebo kryt

motora od plášťa vývevy. V takom prípade sa môžu z vývevy alebo systému

prudko vymrštiť kovové časti a spôsobiť vážne zranenie alebo smrť a/alebo

poškodiť ďalšie zariadenia.

Upevnite zariadenie TV 702 SEM do stabilnej polohy tak, že

pripevníte vstupnú prírubu turbovývevy k prírube systému.

Pripojenie musí byť schopné vydržať točivý moment 8600 Nm okolo

vlastnej osi. Napríklad príruba typu ISO-K môže byť pripevnená

oceľovými svorkami s vysokou pevnosťou (napr. model Agilent

IC63250DCMZ).

Nasledujúca tabuľka ukazuje, pre každý typ príruby potrebný počet

svoriek a príslušný upevňovací krútiaci moment.

14

Návod na Obsluhu

Upevnenie vývevy

178/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)

Tab. 1

PRÍRUBA POČET UŤAHOVACÍ KRÚTIACI MOMENT

ISO 160 K 10 35 Nm

ISO 200 K 8 35 Nm

Turbovýveva so vstupnou prírubou ISO 160 F alebo ISO 200 F sa

musí upevniť na vákuovú komoru prostredníctvom príslušných

mechanických súčiastok typu Agilent. Podrobné informácie sa

nachádzajú v dodatku „Technical Information“.

Zariadenie TV 702 SEM môže byť nainštalované v ľubovoľnej polohe.

Činnosť TV 702 SEM je optimalizovaná pre zvislú montážnu polohu.

POZNÁMKA

Zariadenie TV 702 SEM sa nemôže upevniť pomocou vlastnej základnej dosky.

POZOR!

Zariadenie TV 702 SEM patrí do druhej inštalačnej (prepäťovej) kategórie podľa

smernice EN 61010-1. Zariadenie je potrebné pripojiť ku zdroju napájania, ktorý

vyhovuje uvedenej kategórii. Zariadenie TV 702 SEM má konektory pre

vstup/výstup a konektory sériovej komunikácie, ktoré je potrebné pripojiť

k vonkajšiemu okruhu tak, aby nebola dostupná žiadna elektrická súčasť.

Presvedčite sa, či zariadenie, pripojené k TV 702 SEMu má adekvátnu izoláciu aj

pre prípad samostatnej chyby podľa smernice EN 61010-1.

Návod na Obsluhu

Použitie

14

TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 179/270

Použitie

Táto časť popisuje základné spôsoby použitia zariadenia. Skôr než

začnete systém používať, zapojte všetky elektrické a pneumatické

pripojenia. Teplota vstupnej príruby počas zahrievania vákuovej

komory nesmie prekročiť 120 °C.

NEBEZPEČÍE!

Nikdy nepoužívajte turbovývevu, ak vstupná príruba nie je pripojená k

vákuovej komore. V priebehu zahrievania sa nikdy nedotýkajte turbovývevy

ani žiadneho príslušenstva. Vysoké teploty môžu spôsobiť popáleniny

POZOR!

Dbajte na to, aby výveva počas činnosti nebola vystavená nárazom, kmitaniu

alebo prudkým pohybom. Mohli by sa poškodiť ložiská. Vývevu preplachujte

pomocou vzduchu alebo inertného plynu, zbaveného prachu a častíc. Tlak na

preplachovacom vstupe musí byť nižší než 2 bar (pretlakový). Vývevy sú

vybavené špeciálnym vstupom na vyčerpávanie agresívnych plynov, ktoré

umožňujú stabilný tok inertného plynu (napríklad N

2

, Ar) kvôli ochrane ložísk

vývevy (pozri dodatok „Technical Information“).

NEBEZPEČÍE!

Ak vývevu používate na vyčerpávanie toxických, horľavých alebo

rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované postupy pre

likvidáciu jednotlivých plynov. Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných

plynov.

14

Návod na Obsluhu

Použitie

180/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)

Zapnutie a použitie zariadenia TV 702 SEM

Ak si želáte zapnúť zariadenie TV 702 SEM, stačí dodať napätie na

kontrolný modul (voliteľný prvok), ktorý automaticky rozpozná

prítomnosť signálov spojenia a spustenia a zapne vývevu. Prvé

spustenie vývevy prebehne v režime „Soft Start (Jemný štart)“. Po

dokončení spúšťacieho cyklu sa režim „Soft Start“ automaticky

zablokuje a všetky nasledujúce spustenia zariadenia prebehnú bez

režimu „Soft Start“. Ak chcete režim „Soft Start“ odblokovať, musíte

ho aktivovať vhodným softwarovým príkazom (pozri časť RS 232/485

„Communication description – Popis komunikácie“ v dodatku

„Technical Information“). Zelená dióda LED na čelnom paneli

zariadenia kontrolného modulu indikuje frekvenciou blikania stav

činnosti systému:

 žiadne blikanie: výveva normálne rotuje;

 pomalé blikanie (interval asi 400 ms): systém je v niektorom

z týchto stavov: stúpanie/klesanie, brzdenie, Stop alebo v režime

„Čakanie na spojenie“;

 rýchle blikanie (interval asi 200 ms): chybový stav

Vypnutie zariadenia TV 702 SEM

Ak si želáte zariadenie TV 702 SEM vypnúť, musíte odpojiť kontrolný

modul od zdroja napájania. Kontrolný modul vývevu okamžite

zastaví.

NEBEZPEČÍE!

Z dôvodu bezpečnosti obsluhujúceho pracovníka musí byť kontrolné

zariadenie napájané pomocou 3-žilovej šnúry (viď tabuľku dielov, ktoré

možno objednať) so zástrčkou (medzinárodne schválenou). Túto šnúru so

zástrčkou používajte spolu s vhodne uzemnenou zásuvkou, aby nedošlo k

zásahu elektrickým prúdom a aby boli splnené požiadavky noriem ES. Vysoké

napätie v kontrolnom zariadení môže spôsobiť vážne škody alebo smrť. Prv

než začnete prevádzať údržbárske práce v tejto jednotke, odpojte napájaciu

šnúru.

Návod na Obsluhu

Údržba

14

TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 181/270

Núdzové zastavenie

Ak chcete zariadenie TV 702 SEM okamžite vypnúť v stave núdze,

musíte vytiahnuť kábel napájania zo zásuvky zdroja napájania.

Údržba

Zariadenie TV 702 SEM nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy

a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál.

NEBEZPEČÍE!

Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania,

vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor

neprestane otáčať a kým teplota povrchu vývevy neklesne pod 50 şC.

V prípade poruchy zariadenia možno využiť služby opravárenského

servisu spoločnosti Agilent, kde vám pokazenú vývevu vymenia

vývevu funkčnú.

POZNÁMKA

Skôr než vývevu odošlete výrobcovi na opravu alebo výmenu (advanced

exchange service), musíte vyplniť a odoslať miestnemu predajcovi dotazník

“Zdravie a bezpečnosť”, ktorý je pripojený k návodu. Kópiu dotazníka vložte do

balíka so zariadením a odošlite spolu s ním.

Ak je potrebná likvidácia systému, musí prebehnúť v súlade so

špecifickými predpismi danej krajiny.

14

Návod na Obsluhu

Likvidácia

182/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)

Likvidácia

Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie

doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE".

Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že

výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s bežným

domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí odstrániť ako

delený odpad.

Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s

dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za účelom

jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja.

Stránka sa načítava ...

Converters.TV 702 Používateľská príručka

Converters.TV 702 Používateľská príručka

V iných jazykoch

Ďalšie dokumenty