Varian 969-9172 Používateľská príručka

Mini-TASK

Model 969-9170

Model 969-9171

Model 969-9172

87-900-962-01(A)

OCTOBER 2004

MANUALE DI ISTRUZIONI

BEDIENUNGSHANDBUCH

NOTICE DE MODE D’EMPLOI

MANUAL DE INSTRUCCIONES

MANUAL DE INSTRUÇÕES

BEDRIJFSHANDLEIDING

INSTRUKSTIONSBOG

BRUKSANVISNING

INSTRUKSJON MANUAL

OHJEKÄSIKIRJA

ODHGIES CRHSEWS

FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV

PODRECZNIK INSTRUKCJI

NÁVOD K POUŽITÍ

NÁVOD NA OBSLUHU

PRIROČNIK ZA NAVODILA

INSTRUCTION MANUAL

Mini-TASK

ISTRUZIONI PER L’USO ...................................................................................................................................1

GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................................................4

MODE D’EMPLOI...............................................................................................................................................7

INSTRUCCIONES DE USO .............................................................................................................................10

INSTRUÇÕES PARA O USO...........................................................................................................................13

GEBRUIKSAANWIJZINGEN............................................................................................................................16

BRUGSANVISNING .........................................................................................................................................19

BRUKSANVISNING..........................................................................................................................................22

BRUKERVEILEDNING.....................................................................................................................................25

KÄYTTÖOHJEET .............................................................................................................................................28

PDHGIES CRHSEWS ...........................................................................................................................................31

HASZNÁLATI UTASÍTÁS.................................................................................................................................34

INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................................................................................................................37

PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.....................................................................................................................................40

NÁVOD K POUŽITIU........................................................................................................................................43

NAVODILA ZA UPORABO...............................................................................................................................46

INSTRUCTIONS FOR USE..............................................................................................................................49

TECHNICAL INFORMATION...........................................................................................................................52

DESCRIPTION OF THE MINI-TASK...........................................................................................52

Turbopump Description .....................................................................................................52

Controller Description ........................................................................................................53

Diaphragm Forepump Description.....................................................................................53

Control Panel Description..................................................................................................53

TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................53

MINI-TASK OUTLINE ..................................................................................................................54

INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................56

VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION....................................................................................56

HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION...................................................................................56

HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION CONFIGURATIONS.................................................57

INTERCONNECTIONS................................................................................................................58

Input power connector (Line type) .....................................................................................58

P3 - Vent ............................................................................................................................58

P5 – External fan ...............................................................................................................58

J5 - IN-OUT........................................................................................................................58

Signal description ..............................................................................................................58

J6 - Serial...........................................................................................................................61

RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION..................................................................61

Communication Format .....................................................................................................61

Communication Protocol....................................................................................................61

Window Meanings .............................................................................................................63

USE IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS.............................................................................65

ORDERABLE PARTS..................................................................................................................65

ISTRUZIONI PER L'USO

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Indicazioni di Sicurezza

per

Pompe Turbomolecolari

Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata

quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa

specifica dei loro rotori.

Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una

rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata.



PERICOLO!

Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è

necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte

nel presente manuale!

ISTRUZIONI PER L'USO

2 87-900-962-01(A)

INFORMAZIONI GENERALI

Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.

L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di

istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla

Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritiene

sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza

totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di

personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso

contrario alle normative nazionali specifiche.

Il Mini-TASK è un sistema integrato costituito da una pompa

turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto

integrata dal relativo controller e dalla pompa primaria. Il

sistema è capace di pompare qualsiasi tipo di gas o di

composto gassoso, ma non è adatto per il pompaggio di liquidi

o di particelle solide.

L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad

elevata velocità (75000 giri/min. max) mossa da un motore

elettrico trifase ad alto rendimento. Il Mini-TASK è totalmente

privo di agenti contaminanti, ed è quindi adatto per applicazioni

che richiedono un vuoto "pulito".

Il Mini-TASK ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali è

possibile comandare la valvola di vent, pilotarlo da remoto

tramite un computer host collegato tramite linea seriale.

Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni

necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante

l'utilizzo dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono

fornite nell'appendice “Technical information”.

Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:



PERICOLO!

I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una

procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo

corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.

!ATTENZIONE!

I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure

che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparec-

chiatura.

NOTA

Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal

testo.

IMMAGAZZINAMENTO

Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità

delle pompe Turbomolecolari Varian, devono essere osservate

le seguenti prescrizioni:

• durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento

delle pompe non devono essere superate le seguenti

condizioni ambientali:

• temperatura: da –20 °C a 70 °C

• umidità relativa: da 0 a 95% (non condensante)

• il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel

modo Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la

prima volta

• il tempo di immagazzinamento di una pompa

turbomolecolare è di 10 mesi dalla data di spedizione.

!ATTENZIONE!

Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è

superiore, occorre reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni

informazione, si prega di contattare il locale rappresentante

della Varian.

PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE

Il Mini-TASK viene fornito in un imballo protettivo speciale; se si

presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati

durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.

Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare

attenzione a non lasciar cadere il Mini-TASK e a non sottoporlo

ad urti o vibrazioni.

Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è

completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399

per la tutela dell'ambiente.

!ATTENZIONE!

Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le

mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto.

Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata.

NOTA

Il Mini-TASK non può essere danneggiato rimanendo

semplicemente esposto all'atmosfera. Si consiglia comunque di

mantenere chiusa la pompa fino al momento dell'installazione

sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere.

INSTALLAZIONE

!ATTENZIONE!

Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al

momento del collegamento della turbopompa al sistema.

Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad

agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi,

in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.

Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le

seguenti condizioni ambientali:

− pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica

− temperatura: da + 5 °C a +35 °C

− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).

In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere

protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice

"Technical Information" per ulteriori dettagli.

ISTRUZIONI PER L'USO

3 87-900-962-01(A)

Il Mini-TASK può essere installato in qualsiasi posizione.

Fissare il Mini-TASK in posizione stabile collegando la flangia

di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace

di resistere ad una coppia di 50 Nm attorno al proprio asse.

La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata

alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti

singoli. La seguente tabella descrive, per ogni tipo di morsetto,

il numero di morsetti necessari e con quale coppia di serraggio

stringerli.

FLANGIA

TIPO DI

MORSETTO

N.

COPPIA DI

SERRAGGIO

ISO 63 Morsetto doppio

con filettatura M10

4 22 Nm

Morsetto singolo

con filettatura M8

4 11 Nm

La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere

fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria

meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice

"Technical Information".

NOTA

Il Mini-TASK non può essere fissato tramite la sua base.

Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical

Information".

USO

In questo paragrafo sono riportate le principali procedure

operative.

Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e

pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da

vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere

superiore a 120 °C.



PERICOLO!

Non far funzionare mai la pompa se la flangia di ingresso non è

collegata alla camera a vuoto o non è chiusa con la flangia di

chiusura.



PERICOLO!

Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante

le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può

causare lesioni alle persone.

!ATTENZIONE!

Evitare urti o bruschi spostamenti della turbopompa quando è

in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi.

!ATTENZIONE!

Per la mandata all'aria della pompa utilizzare gas inerte esente

da polvere, particelle o umidità (es. Azoto). La pressione di

ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2

bar (oltre la pressione atmosferica).



PERICOLO!

Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas

tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate

procedure tipiche di ciascun gas.

Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi.

Accensione ed Uso del Mini-TASK

Per accendere il Mini-TASK è sufficiente fornire la tensione di

alimentazione e mettere in posizione ON l'interruttore esterno

(luce rossa accesa). Il controller incorporato riconosce

automaticamente la presenza dell’alimentazione ed avvia la

pompa.

Alla prima accensione è bene adottare la modalità "Soft Start"

attivandola sul controller, per gli avvii successivi si consiglia di

disabilitare la modalità "Soft Start". Per la procedura di

attivazione della modalità "Soft Start" far riferimento al

paragrafo "Signal Description" nel capitolo "Technical

Information".

Il LED verde LD1 posto sul pannello della base del Mini-TASK

indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni

operative del sistema:

− acceso fisso: la pompa è in rotazione normale;

− lampeggiante lentamente (periodo di circa 400 ms): il

sistema è in stato di rampa, o di frenata, o di Stop, o di

“Waiting for interlock”;

− lampeggiante velocemente (periodo di circa 200 ms):

condizione di errore.

Per una descrizione dettagliata del pannello di controllo del

Mini-TASK vedere l'appendice "Technical Information".

Arresto del Mini-TASK

Per arrestare il Mini-TASK è sufficiente mettere in posizione

OFF l'interruttore esterno (luce rossa spenta). Il controller

incorporato arresta immediatamente la pompa.

Arresto di Emergenza

Per arrestare in condizioni di emergenza il Mini-TASK occorre

staccare il cavo di alimentazione dalla presa di rete, o spostare

l'interruttore esterno in posizione OFF.

MANUTENZIONE

Il Mini-TASK non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi

intervento deve essere eseguito da personale autorizzato.



PERICOLO!

Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo

dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo

l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore

ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia

inferiore a 50°C.

In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di

riparazione Varian.

NOTA

Prima di rispedire al costruttore un sistema per riparazioni, è

indispensabile compilare e far pervenire al locale ufficio vendite

la scheda "Sicurezza e Salute" allegata al presente manuale di

istruzioni. Copia della stessa deve essere inserita nell'imballo

del sistema prima della spedizione.

Qualora un sistema dovesse essere rottamato, procedere alla

sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali

specifiche.

GEBRAUCHSANLEITUNG

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Sicherheitshinweise

für

Turbomolekularpumpen

Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen

verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen

Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie.

Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder

durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.



GEFAHR!

Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener

vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch

beschriebenen Installationshinweise!

GEBRAUCHSANLEITUNG

5 87-900-962-01(A)

ALLGEMEINE INFORMATIONEN

Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt.

Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie

alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu

lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen An-

weisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes

Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der na-

tionalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Varian

keinerlei Haftung. Modell Mini-TASK ist ein integriertes System,

das aus einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstva-

kuum-anwendungen, integriert mit einem entsprechenden

Controller und der Primärpumpe, besteht. Das System eignet

sich für die Förderung aller Arten von Gasen oder gashaltigen

Gemischen, nicht jedoch für die Förderung von Flüssigstoffen

oder Festpartikeln. Die Pumpwirkung wird durch eine hochtou-

rige Turbine (max. 75.000 1/min) erreicht, die von einem Hoch-

leistungs-drehstrommotor angetrieben wird. Modell Mini-TASK

enthält keinerlei umweltschädliche Substanzen und eignet sich

deshalb auch für Anwendungen, die ein "sauberes" Vakuum

erfordern. Modell Mini-TASK verfügt des weiteren über Zusatz-

anschlüsse, über die das Entlüftungsventil gesteuert oder die

Vorrichtung von einem Host Computer über eine serielle Lei-

tung gesteuert werden kann. In den folgenden Abschnitten sind

alle erforderlichen Informationen für die Sicherheit des Bedie-

ners bei der Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte

technische Informationen sind im Anhang "Technical Informati-

on" enthalten.

In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise

folgendermaßen hervorgehoben:



GEFAHR!

Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedie-

ners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungswei-

se, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen her-

vorrufen könnten.

!ACHTUNG!

Die Warnhinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei

Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.

HINWEIS

Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem

Text hervorgehoben werden.

LAGERUNG

Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian

Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden

Anweisungen zu beachten:

• Während des Transports, der Handhabung und der Einla-

gerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht

überschritten werden:

• Temperatur: von –20 °C bis 70 °C

• Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95% (nicht kondensie-

rend)

• Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Emp-

fang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start in-

gangzusetzen.

• Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10

Monate ab dem Speditionsdatum.

!ACHTUNG!

Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die ge-

nannte Frist überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk

zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an

den örtlichen Varian Vertreter.

VOR DER INSTALLATION

Modell Mini-TASK wird in einer speziellen Schutzverpackung

geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen

örtlichen Verkaufsstelle zu melden.

Modell Mini-TASK ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem

Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist.

Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß zu entsorgen.

Es ist vollständig recyclebar und entspricht der Richtlinie

85/399/EWG für Umweltschutz.

!ACHTUNG!

Um Entgasungen zu vermeiden, dürfen die Teile, die mit dem

Vakuum in Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen

angefaßt werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere

Schutzmittel zu verwenden.

HINWEIS

Modell Mini-TASK kann durch die Umgebung an sich keine

Schäden erleiden. Es sollte jedoch bis zur Installation an der

Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch

Staub zu vermeiden.

INSTALLATION

!ACHTUNG!

Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei Anschluß

der Turbopumpe an das System abnehmen.

Die Pumpe darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor

Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen

sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brand-

gefährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden.

Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen ein-

gehalten werden:

- Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck

- Temperatur: von +5°C bis +35°C

- Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% (nicht kondensierend).

GEBRAUCHSANLEITUNG

6 87-900-962-01(A)

Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die

Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informa-

tionen siehe im Anhang "Technical Information".

Modell Mini-TASK kann in jeder beliebigen Position installiert

werden. Modell Mini-TASK ist stabil zu befestigen, indem der

Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegen-

flansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von 50

Nm um seine eigene Achse belastbar ist.

Turbopumpen mit einem ISO-Eingangsflansch sind mittels

doppelter oder einfacher Klemmschellen an die Vakuumkam-

mer anzuschließen. In der nachstehenden Tabelle sind die An-

zahl der Klemmschellen und das Anzugsmoment für die Schel-

lenarten angegeben.

FLANSCH KLEMMSCHELLE ANZ. ANZUGSMOMENT

ISO 63 Doppelschelle mit

Gewinde M10

4 22 Nm

Einzelschelle mit

Gewinde M8

4 11 Nm

Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch sind mit dem spe-

ziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer

anzuschließen. Für ausführliche Informationen siehe im An-

hang "Technical Information".

HINWEIS

Modell Mini-TASK kann nicht mittels seines Sockels befestigt

werden.

Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical

Information".

GEBRAUCH

In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge

erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen

und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der

eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Tempera-

tur am Eingangsflansch 120°C nicht überschreiten.



GEFAHR!

Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der

Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen

oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen ist.



GEFAHR!

Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch even-

tuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbren-

nungsgefahr.

!ACHTUNG!

Die Turbopumpe darf während des Betriebes keinen Stößen

oder ruckartigen Bewegungen ausgesetzt werden, da die Lager

beschädigt werden könnten.

!ACHTUNG!

Für die Belüftung der Pumpe staub-, partikel- und feuchtigkeits-

freies Inertgas (z.B. Stickstoff) verwenden. Der Eingangsdruck

am Belüftungsanschluß soll unter 2 bar (über dem atmosphäri-

schen Druck) betragen.



GEFAHR!

Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflamm-

baren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das

jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu

befolgen.

Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfä-

higen Gasen verwendet werden.

Einschaltung und Gebrauch von Modell Mini-TASK

Zur Einschaltung des Mini-TASK ist der Netzstecker anzuschlie-

ßen und der externe Schalter auf die Schaltstellung ON zu stellen

(rote Kontrollleuchte eingeschaltet). Der eingebaute Controller

erfaßt automatisch das Anliegen der Spannung und startet die

Pumpe.

Bei der Erstinbetriebnahme sollte die Betriebsart "Soft Start"

über den Controller eingestellt werden, bei darauffolgenden

Ingangsetzungen wird empfohlen, die Betriebsart "Soft Start"

zu deaktivieren. Um den Modus "Soft Start" einzustellen, bitte

den Absatz "Signal Description", im Kapitel "Technical Informa-

tion", nachschlagen.

Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell Mini-TASK

gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen

des System an:

- Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Be-

trieb.

- Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet

sich entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder

“Waiting for Interlock”.

- Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus.

Für eine detaillierte Erläuterung der Bedienblende des Mini-

TASK siehe im Anhang "Technical Information".

Stoppen von Modell Mini-TASK

Zur Stillsetzung des Mini-TASK ist der externe Schalter auf die

Schaltstellung OFF zu schalten (rote Kontrollleuchte ausge-

schaltet). Der eingebaute Controller sorgt für den sofortigen

Pumpenstopp.

Not-Aus

Zur Notstillsetzung des Mini-TASK ist der Netzstecker zu zie-

hen oder der externe Schalter auf die Schaltstellung OFF zu

schalten.

WARTUNG

Modell Mini-TASK erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe

dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden.



GEFAHR!

Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die

Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und

abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Tempera-

tur am Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist.

Bei Defekten kann der Varian Service.

HINWEIS

Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur, das diesem Hand-

buch beiliegt, ausgefüllt an die örtliche Verkaufsstelle zu sen-

den. Eine Kopie ist der Verpackung des Systems vor dem Ver-

sand beizulegen.

Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der ein-

schlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen.

MODE D’EMPLOI

7 87-900-962-01(A)

Normes de sécurité

pour

Pompe Turbomoléculaires

Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une

énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique

de leurs rotors.

En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou

d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée.



DANGER!

Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux

opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation

décrites dans ce manuel !

MODE D’EMPLOI

8 87-900-962-01(A)

INDICATIONS GÉNÉRALES

Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation

professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est

conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice

d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire

fournie par Varian qui décline par conséquent toute

responsabilité en cas de non-respect total ou partiel des

instructions données, d'utilisation impropre par un personnel

non formé, d'opérations non autorisées ou d'emploi contraire

aux réglementations nationales spécifiques. Le Mini-TASK est

un système intégré, constitué d'une pompe turbomoléculaire

conçue pour des applications de vide poussé et ultrapoussé et

dotée d'un contrôleur et d'une pompe primaire. Le système est

à même de pomper tous les types de gaz et de composés

gazeux mais il n'est pas adapté au pompage de liquides ou de

particules solides. L'effet de pompage est obtenu grâce à une

turbine tournant à vitesse élevée (75000 tr/min max.), mue par

un moteur électrique triphasé à haut rendement. Le Mini-TASK

est totalement exempt d'agents polluants et il est par

conséquent indiqué pour toutes les applications exigeant un

vide "propre". Le Mini-TASK est en outre doté de connecteurs

auxiliaires permettant de commander la soupape de ventilation,

de le piloter à distance à l'aide d'un ordinateur host connecté

par ligne sérielle. Les paragraphes suivants fournissent toutes

les indications nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur

pendant l'utilisation de l'appareillage. Des renseignements plus

détaillés se trouvent dans l'appendice "Technical Information".

Cette notice utilise les signes conventionnels suivants :



DANGER!

Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur

une procédure ou une manœuvre spéciale qui, effectuée de

façon impropre, risque de provoquer de graves lésions

! ATTENTION !

Les messages d'attention apparaissent avant certaines

procédures dont le non-respect pourrait endommager

sérieusement l'appareillage.

NOTE

Les notes contiennent des renseignements importants,

extrapolés du texte.

STOCKAGE

Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des

pompes turbomoléculaires Varian, il est indispensable de

respecter les instructions suivantes :

• Le transport, la manutention et le stockage des pompes,

doivent impérativement avoir lieu dans les conditions

ambiantes suivantes :

• température : de –20 °C à +70 °C

• humidité relative : de 0 à 95% (non condensante)

• A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires

doivent toujours être mises en marche en mode soft-Start.

• Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est

de 10 mois à compter de la date d'expédition.

! ATTENTION!

En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit

être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le

représentant Varian de zone.

PRÉPARATION POUR L'INSTALLATION

Le Mini-TASK est livré dans un emballage de protection spécial; en

cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit

pendant le transport, contacter le bureau de vente local.

Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout

particulièrement à ne pas laisser tomber le Mini-TASK et à ne

lui faire subir aucun choc et aucune vibration.

Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est

entièrement recyclable et conforme à la directive CEE 85/399

en matière de protection de l'environnement.

! ATTENTION !

Afin d'éviter tout problème de dégazage, ne pas toucher, à

mains nues, les éléments devant être exposés au vide. Mettre

toujours des gants ou toute autre protection appropriée.

NOTE

Le Mini-TASK ne peut s'endommager en restant simplement

exposé à l'atmosphère. Toutefois, afin d'éviter toute pollution

due à la poussière, il est conseillé de le garder dans son

emballage clos jusqu'au moment de l'installation.

INSTALLATION

! ATTENTION !

Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection

qu'au moment de brancher la turbopompe au système.

Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux

exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la

poussière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux

explosifs ou à fort risque d'incendie.

Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les

conditions environnementales suivantes :

- pression max.: 2 bars au-delà de la pression

atmosphérique

- température: de +5°C° à +35°C

- humidité relative: 0 - 95% (non condensante)

En présence de champs magnétiques, la pompe doit être

protégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre

renseignement, se reporter à l'opuscule "Technical Information".

Le Mini-TASK peut être installée dans n'importe quelle position.

Le fixer dans une position stable, en reliant la bride d'entrée de

la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant supporter un

couple de serrage de 50 Nm autour de son axe.

MODE D’EMPLOI

9 87-900-962-01(A)

La turbopompe à bride d'entrée ISO doit être fixée à la

chambre à vide à l'aide de colliers doubles ou simples. Le

tableau suivant décrit, pour chaque type de collier, le nombre

de colliers nécessaires ainsi que le couple de serrage prescrit.

BRIDE TYPE DE

COLLIER

N. COUPLE DE

SERRAGE

ISO 63 Collier double

à filet M10

4 22 Nm

Collier simple

à filet M8

4 11 Nm

La turbopompe à bride d'entrée ConFlat doit être fixée à la

chambre à vide à l'aide des éléments mécaniques Varian

prévus à cet effet. Pour tout autre détail, se reporter à

l'appendice "Technical Information".

NOTE

Le Mini-TASK ne peut être fixé par sa base.

Pour l'installation des accessoires en option, se reporter à

"Technical Information".

UTILISATION

Ce paragraphe présente les principales procédures

opérationnelles.

Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements

électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de

la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit

pas dépasser 120°C.



DANGER!

Ne jamais faire fonctionner la pompe si la bride d'entrée n'est

pas reliée à la chambre à vide ou si elle n'est pas fermée avec

la bride de fermeture.



DANGER!

Éviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires

éventuels pendant les opérations de chauffage. La température

élevée peut être à l'origine de lésions graves.

! ATTENTION!

Éviter tout choc ou déplacement brusques de la turbopompe

lorsqu'elle est en marche. Cela pourrait endommager les

paliers

! ATTENTION !

Pour le "refoulement à l'air" de la pompe, utiliser un gaz inerte

dépourvu de poussière, particules ou humidité (Ex. azote). La

pression d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être

inférieure à 2 bars (au-delà de la pression atmosphérique).



DANGER!

Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz

toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures

typiques de chaque gaz.

Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs.

Mise en marche et utilisation du Mini-TASK

Pour allumer le Mini-TASK, il suffit de le brancher au réseau et

de placer l'interrupteur extérieur sur ON (lumière rouge

allumée). Le contrôleur incorporé reconnaît automatiquement la

présence de l'alimentation et met la pompe en marche.

Lors de la première mise en marche, il est conseillé d'adopter

le mode "Soft Start" en l'activant sur le contrôleur ; pour les

démarrages suivants, il est conseillé de désactiver le mode

"Soft Start". Pour la procédure d’activation de la modalité "Soft

Start", se référer au paragraphe SIGNAL DESCRIPTION" dans

le chapitre "Technical Information".

La LED verte LD1 placée sur le panneau de la base du Mini-

TASK indique, par sa fréquence de clignotement, les conditions

opérationnelles du système :

- allumée fixe : la pompe est en rotation normale ;

- clignote lentement (période d'environ 400 ms) : le système

est en état de rampe, de freinage, de stop ou d’attente

interlock.

- clignote rapidement (période d'environ 200 ms) : condition

d'erreur.

Pour une description détaillée du panneau de contrôle du Mini-

TASK, consulter l'appendice "Technical Information".

Arrêt du Mini-TASK

Pour arrêter le Mini-TASK, il suffit de placer l'interrupteur

extérieur sur OFF (lumière rouge éteinte). Le contrôleur

incorporé arrête immédiatement la pompe.

Arrêt d'urgence

Pour arrêter le Mini-TASK en condition d'urgence, débrancher

le cordon d'alimentation de la prise ou placer l'interrupteur

extérieur sur OFF.

ENTRETIEN

Le Mini-TASK n'exige aucun entretien particulier. Toute

intervention doit être effectuée par un personnel agréé.



DANGER!

Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler

l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet,

attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à ce que la

température superficielle de la pompe soit inférieure à 50°C.

En cas de panne, il est possible de bénéficier du service

réparations Varian.

NOTE

Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour réparation,

remplir et faire parvenir au bureau Varian de votre région la

fiche "Sécurité et Santé" jointe au présent manuel

d'instructions. Une copie de cette fiche devra être mise dans

l'emballage de la pompe avant l'expédition.

En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son

élimination conformément aux réglementations nationales

concernant la gestion des déchets.

INSTRUCCIONES DE USO

10 87-900-962-01(A)

Indicaciones de Seguridad

para

Bombas Turbomoleculares

Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen

una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en

combinación a la masa específica de sus rotores.

En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o

por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada.



¡PELIGRO!

Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es

necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas

en el presente manual!

INSTRUCCIONES DE USO

11 87-900-962-01(A)

INFORMACIÓN GENERAL

Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer

atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier

otra información suplementaria facilitada por Varian antes de

usar el aparato. Varian se considera libre de posibles

responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de

las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no

preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a

las normas nacionales específicas.

El Mini-TASK es un sistema integrado compuesto por una

bomba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto

vacío integrada por el respectivo controlador y la bomba

primaria. El sistema puede bombear cualquier tipo de gas o de

composición gaseosa, pero no es adecuado para bombear

líquidos o partículas sólidas.

El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa

de alta velocidad (75000 r.p.m. máx.) movida por un motor

eléctrico trifásico de alto rendimiento. El Mini-TASK no posee

absolutamente ningún agente contaminante, por lo que es

adecuado para aplicaciones que requieren un vacío’ “limpio”.

Asimismo, el Mini-TASK posee conectores auxiliares con los

que se puede gobernar la válvula de ventilación y pilotearlo a

distancia mediante un ordenador host conectado a través de

línea serial.

A continuación se facilita toda la información necesaria para

garantizar la seguridad del operador al usar el aparato. En el

anexo “Technical Information” se facilita información más

detallada.

Este manual utiliza las convenciones siguientes:



¡PELIGRO!

Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre

un procedimiento o una ejecución específica que, de no

realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones

personales.

! ¡ATENCIÓN!

Los mensajes de atención se visualizan antes de los

procedimientos que, de no cumplirse, podrían provocar daños

al aparato.

NOTA

Las notas contienen información importante extraída del texto.

ALMACENAMIENTO

Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de

las bombas turbomoleculares Varian, deberán aplicarse las

siguientes instrucciones:

• durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento

de las bombas no deberán superarse las siguientes

condiciones ambientales:

• temperatura: entre –20 °C y 70 °C;

• humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante);

• el cliente deberá activar siempre las bombas

turbomoleculares en modalidad Soft-Start al recibirlas y

ponerlas en funcionamiento por primera vez;

• el período máximo de almacenamiento de una bomba

turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de

envío al cliente.

! ¡ATENCIÓN!

En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo

permitido de almacenamiento, será necesario devolver la

bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto,

se ruega contactar con el representante local de Varian.

PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN

El Mini-TASK se suministra en un embalaje especial de

protección; si se observan daños, que podrían haberse

producido durante el transporte, ponerse en contacto con la

oficina local de ventas.

Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no

se caiga el Mini-TASK y de no someterlo a golpes o

vibraciones.

No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es

completamente reciclable y cumple con lo dispuesto por la

directiva CEE 85/399 para la preservación del medio ambiente.

! ¡ATENCIÓN!

Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las

manos desnudas los componentes destinados a exponerse al

vacío. Utilizar siempre guantes u otra protección adecuada.

NOTA

El Mini-TASK no puede dañarse permaneciendo simplemente

expuesto a la atmósfera. De todas formas, se aconseja

mantener cerrada la bomba hasta el momento de la instalación

en el sistema para evitar su posible contaminación por polvo.

INSTALACIÓN

! ¡ATENCIÓN!

Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el

momento de conectar la turbobomba al sistema.

No instalar ni/o utilizar la bomba en lugares expuestos a

agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases

agresivos, ni en ambientes sujetos a riesgo de explosión o

incendio.

Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las

condiciones ambientales siguientes:

- presión máxima: 2 bares por encima de la presión

atmosférica

- temperatura: de +5ºC a +35ºC

- humedad relativa: 0-95% (no condensadora).

Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de

protegerse mediante pantallas adecuadas. Para más detalles

véase por favor el anexo “Technical Information”.

INSTRUCCIONES DE USO

12 87-900-962-01(A)

El Mini-TASK puede ser instalado en cualquier posición.

Fijar el Mini-TASK en posición estable conectando la brida de

entrada de la turbobomba a una contrabrida fija capaz de

resistir ha un par de 50 Nm en torno a su propio eje.

La turbobomba con brida de entrada ISO ha de fijarse a la

cámara de vacío mediante mordazas dobles o mordazas

sencillas. La tabla siguiente describe, por cada tipo de

mordaza, el número de mordazas necesarias y con qué par de

apriete apretarlas.

BRIDA TIPO DE

MORDAZA

N. PAR DE

APRIETE

ISO 63 Mordaza doble con

rosca M10

4 22 Nm

Mordaza sencilla con

rosca M8

4 11 Nm

La turbobomba con brida de entrada ConFlat ha de fijarse a la

cámara de vacío mediante los accesorios mecánicos

específicos Varian. Para más detalles véase el anexo

“Technical Information”.

NOTA

El Mini-TASK no puede fijarse utilizando su base.

Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical

Information”.

USO

En este apartado se citan los procedimientos operativos

principales. Antes de usar el sistema realizar todas las

conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el posible

calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la

brida de entrada no ha de ser superior a 120ºC.



¡PELIGRO!

No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no

está conectada a la cámara de vacío o no está cerrada con la

brida de cierre.



¡PELIGRO!

No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las

operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede

provocar lesiones a las personas.

! ¡ATENCIÓN!

Evitar los golpes o bruscos desplazamientos de la turbobomba

cuando está en marcha. Los rodamientos se podrían dañar.

! ¡ATENCIÓN!

Para el "envío al aire" de la bomba utilizar gas inerte exento de

polvo, partículas y humedad (por ej.: nitrógeno). La presión de

entrada a través de la respectiva puerta debe ser inferior a 2

bares (por encima de la presión atmosférica).



¡PELIGRO!

Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos,

inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos

apropiados típicos de cada gas. No usar la bomba cuando

haya gases explosivos.

Encendido y Uso del Mini-TASK

Para encender el Mini-TASK basta conectar la tensión de

alimentación y disponer el interruptor externo en posición ON (luz

roja encendida). El controlador incorporado reconoce

automáticamente la presencia de la alimentación y pone en

marcha la bomba.

Al efectuar el primer encendido conviene adoptar la modalidad

"Soft Start" activándola en el controller, mientras que para las

sucesivas activaciones se aconseja inhabilitar dicha modalidad

"Soft Start". Para el procedimiento de activación de la

modalidad “Soft Start” consultar el punto “Signal Description”

del capítulo “Technical Information”.

El LED verde LD1 situado en el panel de la base del Mini-TASK

indica, con la frecuencia de su parpadeo, las condiciones

operativas del sistema:

− encendido fijo: la bomba está en rotación normal;

− parpadea lentamente (período de 400 ms

aproximadamente): el sistema está en estado de rampa, o

de frenado, o de stop, o de “waiting for iterlock” ;

− parpadea rápidamente (período de 200 ms

aproximadamente): situación de error.

Una descripción detallada del panel de control del Mini-TASK

aparece en el apéndice "Technical Information".

Parada del Mini-TASK

Para detener el Mini-TASK basta disponer el interruptor externo

en posición OFF (luz roja apagada). El controlador incorporado

detiene inmediatamente la bomba.

Parada de Emergencia

Para interrumpir inmediatamente en caso de emergencia el

funcionamiento del Mini-TASK, se deberá desenchufar el cable

de alimentación de la toma de red o disponer el interruptor

externo en posición OFF.

MANTENIMIENTO

El Mini-TASK no necesita ningún mantenimiento. Toda

intervención deberá ser realizada por personal autorizado.



¡PELIGRO!

Antes de realizar cualquier operación en el sistema,

desconectarlo de la alimentación, disponer la bomba en

presión atmosférica abriendo la válvula respectiva y esperar

hasta que el rotor se pare completamente y que la temperatura

superficial de la bomba se reduzca a menos de 50ºC.

En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación

Varian.

NOTA

Antes de enviar al fabricante un sistema para su reparación, es

imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina local de

ventas la ficha de “Seguridad y Salud” adjunta al presente

manual de instrucciones. Una copia de la misma se deberá

introducir en el embalaje del sistema antes de enviarlo.

En caso de que el sistema se tenga que desguazar, eliminarlo

respetando las normas nacionales específicas.

INSTRUÇÕES PARA O USO

13 87-900-962-01(A)

Indicações de Segurança

para

Bombas Turbomoleculares

As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta

quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa

específica de seus rotores.

Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o

estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.



PERIGO!

Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é

necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas

neste manual!

INSTRUÇÕES PARA O USO

14 87-900-962-01(A)

INFORMAÇÕES GERAIS

Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve

ler atentamente o presente manual de instruções e todas as

informações adicionais fornecidas pela Varian antes de utilizar a

aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela inobservância

total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de

pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo

uso contrário às normas nacionais específicas.

O Mini-TASK é um sistema integrado, constituído por uma

bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto

vácuo, equipado com os respectivos controller e bomba

primária.

O sistema é capaz de bombear qualquer tipo de gás ou de

composto gasoso, mas não é apropriado para bombear

líquidos ou partículas sólidas.

O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de

alta velocidade (75000 r.p.m. máx.) movida por um motor

eléctrico trifásico de alto rendimento. O Mini-TASK é totalmente

isento de agentes contaminadores e, portanto, é adequado

para aplicações que requerem um vácuo "limpo".

Além disso, o Mini-TASK tem conectores auxiliares através dos

quais é possível alimentar uma válvula de vent, accioná-lo por

um controlo remoto através de um computer host conectado

por meio de linha serial. Nos seguintes parágrafos estão

descritas todas as informações necessárias para garantir a

segurança do operador durante o uso da aparelhagem.

Informações detalhadas são fornecidas no apêndice "Technical

Information".

Este manual utiliza as seguintes convenções:



PERIGO!

As mensagens de perigo chamam a atenção do operador para

um procedimento ou uma prática específica que, se não

efectuada correctamente, pode provocar graves lesões

pessoais.

" ATENÇÃO!

As mensagens de atenção são visualizadas antes de

procedimentos que, se não efectuados correctamente, podem

causar danos à aparelhagem.

NOTA

As notas contêm informações importantes destacadas do texto.

ARMAZENAGEM

Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade

das bombas Turbomoleculares Varian, devem ser observadas

as seguintes prescrições:

• durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem

das bombas as condições ambientais devem ser as

seguintes:

• temperatura: de –20 °C a 70 °C

• umidade relativa: de 0 a 95% (não condensante)

• ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez,

o cliente deve ativá-las sempre em modalidade Soft-Start

• o tempo máximo de armazenagem de uma bomba

turbomolecular é de 10 meses a contar da data da

expedição.

"ATENÇÃO!

Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for

superior, será necessário enviar outra vez a bomba para o

fabricante. Para mais informações, contatar o representante

local da Varian.

PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO

O Mini-TASK é fornecido numa embalagem protectora

especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter

ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o

escritório de vendas local.

Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para

não deixar cair o Mini-TASK e para não submetê-lo a choques

ou vibrações.

Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é

completamente reciclável e em conformidade com a norma

CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente.

" ATENÇÃO!

Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as

mãos os componentes destinados à exposição do vácuo.

Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada.

NOTA

Mini-TASK não pode ser danificado permanecendo

simplesmente exposto à atmosfera. Aconselha-se, no entanto,

manter a bomba fechada até o momento da instalação no

sistema para evitar eventuais acumulações de pó.

INSTALAÇÃO

" ATENÇÃO!

Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecção

somente no momento de ligar a turbobomba ao sistema.

Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a

agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases

agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou

com elevado risco de incêndio.

Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas

as seguintes condições ambientais:

- pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica

- temperatura: de + 5ºC a + 35ºC

- humidade relativa: 0 - 95% (não condensante).

INSTRUÇÕES PARA O USO

15 87-900-962-01(A)

Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser

protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores

detalhes, consultar o apêndice "Technical Information".

Mini-TASK pode ser instalado em qualquer posição. Fixar a

aparelhagem em posição estável ligando o flange de entrada

da turbobomba a um contra-flange fixo capaz de resistir a um

torque de 50 Nm ao redor do próprio eixo.

A turbobomba com flange de entrada ISO, deve ser fixada à

câmara de vácuo através de grampos duplos ou simples. A

tabela a seguir indica, para todos os tipos de grampos, o

número de grampos e o torque de aperto necessários.

FLANGE TIPO DE GRAMPO N. TORQUE DE

APERTO

ISO 63 Grampo duplo

com rosca M10

4 22 Nm

Grampo simples

com rosca M8

4 11 Nm

A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada à

câmara de vácuo através de parafusos específicos da

mecânica Varian. Para ulteriores detalhes, consultar o

apêndice "Technical Information".

NOTA

O Mini-TASK não pode ser fixado por intermédio da sua própria

base.

Para a instalação dos acessórios opcionais, consultar

"Technical Information".

UTILIZAÇÃO

Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos

operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as

ligações eléctricas e pneumáticas. Durante o aquecimento da

câmara a vácuo, a temperatura no flange de entrada não deve

ser superior a 120 ºC.



PERIGO!

Nunca activar a bomba se o flange de entrada não estiver

ligado à câmara de vácuo ou não estiver fechado com o flange

de fecho.



PERIGO!

Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios

durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura

pode causar lesões às pessoas.

"ATENÇÃO!

Evitar colisões ou deslocamentos bruscos da turbobomba

quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer

danos.

"ATENÇÃO!

Para a "saída de ar" da bomba, utilizar gás inerte sem poeiras,

partículas ou humidade (p. ex.: Azoto). A pressão de entrada

através da porta específica deve ser inferior a 2 bars (além da

pressão atmosférica).



PERIGO!

Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos,

inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos

adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na

presença de gases explosivos.

Acendimento e Utilização do Mini-TASK

Para ligar o Mini-TASK é suficiente conectá-lo à rede de

alimentação e colocar o interruptor exterior na posição de ON

(luz vermelha acesa). O controller incorporado detecta

automaticamente a corrente de alimentação e acciona a bomba.

Quando ligar o aparelho pela primeira vez é aconselhável

utilizar a modalidade "Soft Start" activando-a através do

controller. Posteriormente aconselha-se a desactivar a

modalidade "Soft Start". Para o procedimento de ativação da

modalidade “Soft Start” usar como referência o parágrafo

“Signal Description” no capítulo “Technical Information”.

A luz piloto verde LD1, posicionada no painel da base do Mini-

TASK, indica, através da frequência de intermitência, as

condições operacionais do sistema:

- acesa fixa: a bomba funciona normalmente;

- intermitência lenta (período de aprox. 400 ms): o sistema

está em estado de aceleração, ou de paragem, ou de Stop,

ou de “waiting for interlock”.

- intermitência rápida (período de aprox. 200 ms): condição

de erro.

Para informações mais detalhadas sobre o painel de comando

do Mini-TASK, consultar o apêndice "Technical Information".

Paragem do Mini-TASK

Para parar o Mini-TASK é suficiente colocar o interruptor

exterior na posição OFF (luz vermelha apagada). O controller

incorporado pára imediatamente a bomba.

Paragem de Emergência

Para parar em condições de emergência o Mini-TASK é

necessário desligar o cabo de alimentação da tomada da rede

de alimentação, ou colocar o interruptor exterior na posição

OFF.

MANUTENÇÃO

O Mini-TASK não requer qualquer manutenção. Todas as

operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado.



PERIGO!

Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da

rede de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula

específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até

que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 ºC.

Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de

assistência Varian.

NOTA

Antes de reenviar ao fabricante um sistema para as

reparações, é indispensável preencher e enviar ao escritório de

vendas local a ficha "Segurança e Saúde" anexa ao presente

manual de instruções. A cópia da mesma deve ser colocada na

embalagem do sistema antes da expedição.

Caso uma bomba deva ser eliminada, actue em conformidade

com as normas nacionais específicas.

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Varian 969-9172 Používateľská príručka

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