Stránka sa načítava...
T
V 702 SEM
Pump models
869-8938, 869-8938R001, 869-8938R002,
869-8938R003
Controller models
969-8977, 969-9545, 969-9945
Manuale di istruzioni Instruksjon manual
Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja
Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv
Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji
Manual de istruções Návod k použití
Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu
Istrukstionsbog Priročnik za navodila
Bruksanvisning User Manual
87-900-992-01 (A)
04/2011
Contents
TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 11/270
Údržba 169
Likvidace 170
14 Návod na Obsluhu 171
Bezpečnos
tný návod pre Turbomolekulárne vývevy 172
Všeobecné informácie 173
Uchovávanie 174
Príprava na inštaláciu 175
Inštalácia 176
Upevnenie vývevy 177
Použitie 179
Údržba 181
Likvidácia 182
15 Priročnik za Navodila 183
Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 184
Splošne informacije 185
Shranjevanje 186
Priprava za montažo 187
Montaža 188
Pritrjevanje črpa
lke 189
Uporaba 191
Vzdrževanje 193
Odlaganje opadkov 194
TV 702 SEM User Manual
171/270
14
Návod na Obsluhu
Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy 172
Všeobecné informácie 173
Uchovávanie 174
Príprava na inštaláciu 175
Inštalácia 176
Upevnenie vývevy 177
Použitie 179
Zapnutie a použitie zariadenia TV 702 SEM 180
Vypnutie zariadenia TV 702 SEM 180
Núdzové zastavenie 181
Údržba 181
Likvidácia 182
P
reklad originálneho návodu
14
Návod na Obsluhu
Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy
172/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)
Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy
Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú
veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti
v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov.
V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora
alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť rotačná energia.
NEBEZPEČÍE!
Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť prísne dodržované za
účelom prevencie zranenia obsluhy!
Návod na Obsluhu
Všeobecné informácie
14
TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 173/270
Všeobecné informácie
Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než
začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky
ďalšie pokyny spoločnosti Agilent. Spoločnosť Agilent nenesie žiadnu
zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené postupom, ktorý
nie je v súlade, dokonca ani v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi,
zapríčinené nesprávnym používaním zariadenia nepoučenými
osobami, neoprávnenou úpravou zariadenia alebo akýmkoľvek
postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými štandardmi danej
krajiny.
Zariadenia série TV 702 SEM sú turbomolekulárne vývevy pre
aplikácie s vysokým a ultravysokým vákuom. Systém dokáže vyčerpať
ľubovoľný typ plynu alebo zmesi plynov. Nie je vhodný na
vyčerpávanie tekutín alebo pevných častí. Vyčerpávanie zabezpečuje
veľmi rýchla turbína (max. 42000 otáčok/minútu), poháňaná
vysokovýkonným 3-fázovým elektrickým motorom. Zariadenie TV 702
SEM neobsahuje žiadne kontaminačné činidlá, a preto sa hodí pre
aplikácie, vyžadujúce „čisté“ vákuum.
Zariadenie je vybavené pomocnými konektormi na pripojenie
ďalšieho ventilátora, na ovládanie vetracieho ventilu a kvôli možnosti
ovládania zo vzdialeného miesta pomocou hostiteľského počítača,
pripojeného cez sériovú komunikačnú linku (RS232 alebo RS485).
Nasledujúce časti obsahujú všetky potrebné informácie, ktoré
zaručujú bezpečno
sť pracovníka v priebehu práce so zariadením.
Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technical
Information“.
14
Návod na Obsluhu
Uchovávanie
174/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)
Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia:
NEBEZPEČÍE!
Varovania majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo
činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie.
POZOR!
Upozornenia označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie
zariadenia.
POZNÁMKA
Poznámky upozorňujú na dôležité informácie z textu.
Uchovávanie
Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy značky Agilent podávali
maximálny a spoľahlivý výkon, dodržiavajte nasledujúce pokyny:
neprekračujte nasledujúce špecifikácie prostredia počas prevozu,
prenášania a uchovávania vývev:
rozsah teplôt: -20 °C až 70 °C
rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 95 % (bez kondenzácie)
zákazník musí pri prvom spustení turbo vývevy vždy použiť režim
soft štartu
skladovateľnosť turbomolekulárnej vývevy je 10 mesiacov odo
dňa dodania.
Návod na Obsluhu
Príprava na inštaláciu
14
TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 175/270
POZOR!
Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia, vráťte vývevu
do závodu, v ktorom bola vyrobená. Informácie získate u miestneho zastúpenia
spoločnosti Agilent pre predaj a servis.
Príprava na inštaláciu
Zariadenie TV 702 SEM sa dodáva v špeciálnom ochrannom balení.
Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy),
obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent.
Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie nespadlo,
nebolo vystavené nárazu alebo prudkému otrasu, alebo vibráciám.
Obalový materiál zlikvidujte predpísaným spôsobom. Materiál je
100% recyklovateľný a spĺňa požiadavky smernice EEC 85/399.
POZOR!
Ak chcete predísť problémom s odplyňovaním, nechytajte komponenty, ktoré
budú vystavené vákuu holými rukami. Vždy používajte rukavice alebo inú
vhodnú ochranu.
POZNÁMKA
Bežné vystavenie vplyvu prostredia nemôže zariadenie TV 702 SEM poškodiť.
Napriek tomu je vhodné, aby zariadenie zostalo zabalené až do inštalácie kvôli
prevencii kontaminácie prachom.
14
Návod na Obsluhu
Inštalácia
176/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)
Postava 1
Inštalácia
POZOR!
Neodstraňujte lepiacu pásku a ochranný kryt skôr, než pripojíte turbovývevu
k systému.
Postava 2
Návod na Obsluhu
Upevnenie vývevy
14
TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 177/270
Vývevu neinštalujte ani nepoužívajte v prostredí vystavenom
vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach, korozívne plyny, ani vo
výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje vysoké riziko
požiaru. Počas činnosti zariadenia je potrebné zabezpečiť tieto
vlastnosti prostredia:
maximálny pretlak: 2 bary nad úrovňou atmosférického tlaku
teplota: od +5 °C do +35 °C (pozri závislosť tlaku od teploty v
dodatku “Technical Information”)
relatívna vlhkosť: 0 -95 % (bez kondenzácie)
V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená
feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú
v dodatku „Technical Information“.
Zariadenie TV 702 SEM sa musí pripojiť k primárnej výveve (pozri
„Technical Information“).
Upevnenie vývevy
NEBEZPEČÍE!
Ak sa objaví chyba rotora, pripojenie vývevy k systému bude vystavené
silnému točivému momentu. Ak pripojenie nie je dostatočne pevné, aby
točivému momentu odolalo, môže sa odpojiť výveva od systému alebo kryt
motora od plášťa vývevy. V takom prípade sa môžu z vývevy alebo systému
prudko vymrštiť kovové časti a spôsobiť vážne zranenie alebo smrť a/alebo
poškodiť ďalšie zariadenia.
Upevnite zariadenie TV 702 SEM do stabilnej polohy tak, že
pripevníte vstupnú prírubu turbovývevy k prírube systému.
Pripojenie musí byť schopné vydržať točivý moment 8600 Nm okolo
vlastnej osi. Napríklad príruba typu ISO-K môže byť pripevnená
oceľovými svorkami s vysokou pevnosťou (napr. model Agilent
IC63250DCMZ).
Nasledujúca tabuľka ukazuje, pre každý typ príruby potrebný počet
svoriek a príslušný upevňovací krútiaci moment.
14
Návod na Obsluhu
Upevnenie vývevy
178/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)
Tab. 1
PRÍRUBA POČET UŤAHOVACÍ KRÚTIACI MOMENT
ISO 160 K 10 35 Nm
ISO 200 K 8 35 Nm
Turbovýveva so vstupnou prírubou ISO 160 F alebo ISO 200 F sa
musí upevniť na vákuovú komoru prostredníctvom príslušných
mechanických súčiastok typu Agilent. Podrobné informácie sa
nachádzajú v dodatku „Technical Information“.
Zariadenie TV 702 SEM môže byť nainštalované v ľubovoľnej polohe.
Činnosť TV 702 SEM je optimalizovaná pre zvislú montážnu polohu.
POZNÁMKA
Zariadenie TV 702 SEM sa nemôže upevniť pomocou vlastnej základnej dosky.
POZOR!
Zariadenie TV 702 SEM patrí do druhej inštalačnej (prepäťovej) kategórie podľa
smernice EN 61010-1. Zariadenie je potrebné pripojiť ku zdroju napájania, ktorý
vyhovuje uvedenej kategórii. Zariadenie TV 702 SEM má konektory pre
vstup/výstup a konektory sériovej komunikácie, ktoré je potrebné pripojiť
k vonkajšiemu okruhu tak, aby nebola dostupná žiadna elektrická súčasť.
Presvedčite sa, či zariadenie, pripojené k TV 702 SEMu má adekvátnu izoláciu aj
pre prípad samostatnej chyby podľa smernice EN 61010-1.
Návod na Obsluhu
Použitie
14
TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 179/270
Použitie
Táto časť popisuje základné spôsoby použitia zariadenia. Skôr než
začnete systém používať, zapojte všetky elektrické a pneumatické
pripojenia. Teplota vstupnej príruby počas zahrievania vákuovej
komory nesmie prekročiť 120 °C.
NEBEZPEČÍE!
Nikdy nepoužívajte turbovývevu, ak vstupná príruba nie je pripojená k
vákuovej komore. V priebehu zahrievania sa nikdy nedotýkajte turbovývevy
ani žiadneho príslušenstva. Vysoké teploty môžu spôsobiť popáleniny
POZOR!
Dbajte na to, aby výveva počas činnosti nebola vystavená nárazom, kmitaniu
alebo prudkým pohybom. Mohli by sa poškodiť ložiská. Vývevu preplachujte
pomocou vzduchu alebo inertného plynu, zbaveného prachu a častíc. Tlak na
preplachovacom vstupe musí byť nižší než 2 bar (pretlakový). Vývevy sú
vybavené špeciálnym vstupom na vyčerpávanie agresívnych plynov, ktoré
umožňujú stabilný tok inertného plynu (napríklad N
2
, Ar) kvôli ochrane ložísk
vývevy (pozri dodatok „Technical Information“).
NEBEZPEČÍE!
Ak vývevu používate na vyčerpávanie toxických, horľavých alebo
rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované postupy pre
likvidáciu jednotlivých plynov. Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných
plynov.
14
Návod na Obsluhu
Použitie
180/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)
Zapnutie a použitie zariadenia TV 702 SEM
Ak si želáte zapnúť zariadenie TV 702 SEM, stačí dodať napätie na
kontrolný modul (voliteľný prvok), ktorý automaticky rozpozná
prítomnosť signálov spojenia a spustenia a zapne vývevu. Prvé
spustenie vývevy prebehne v režime „Soft Start (Jemný štart)“. Po
dokončení spúšťacieho cyklu sa režim „Soft Start“ automaticky
zablokuje a všetky nasledujúce spustenia zariadenia prebehnú bez
režimu „Soft Start“. Ak chcete režim „Soft Start“ odblokovať, musíte
ho aktivovať vhodným softwarovým príkazom (pozri časť RS 232/485
„Communication description – Popis komunikácie“ v dodatku
„Technical Information“). Zelená dióda LED na čelnom paneli
zariadenia kontrolného modulu indikuje frekvenciou blikania stav
činnosti systému:
žiadne blikanie: výveva normálne rotuje;
pomalé blikanie (interval asi 400 ms): systém je v niektorom
z týchto stavov: stúpanie/klesanie, brzdenie, Stop alebo v režime
„Čakanie na spojenie“;
rýchle blikanie (interval asi 200 ms): chybový stav
Vypnutie zariadenia TV 702 SEM
Ak si želáte zariadenie TV 702 SEM vypnúť, musíte odpojiť kontrolný
modul od zdroja napájania. Kontrolný modul vývevu okamžite
zastaví.
NEBEZPEČÍE!
Z dôvodu bezpečnosti obsluhujúceho pracovníka musí byť kontrolné
zariadenie napájané pomocou 3-žilovej šnúry (viď tabuľku dielov, ktoré
možno objednať) so zástrčkou (medzinárodne schválenou). Túto šnúru so
zástrčkou používajte spolu s vhodne uzemnenou zásuvkou, aby nedošlo k
zásahu elektrickým prúdom a aby boli splnené požiadavky noriem ES. Vysoké
napätie v kontrolnom zariadení môže spôsobiť vážne škody alebo smrť. Prv
než začnete prevádzať údržbárske práce v tejto jednotke, odpojte napájaciu
šnúru.
Návod na Obsluhu
Údržba
14
TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 181/270
Núdzové zastavenie
Ak chcete zariadenie TV 702 SEM okamžite vypnúť v stave núdze,
musíte vytiahnuť kábel napájania zo zásuvky zdroja napájania.
Údržba
Zariadenie TV 702 SEM nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy
a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál.
NEBEZPEČÍE!
Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania,
vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor
neprestane otáčať a kým teplota povrchu vývevy neklesne pod 50 şC.
V prípade poruchy zariadenia možno využiť služby opravárenského
servisu spoločnosti Agilent, kde vám pokazenú vývevu vymenia
vývevu funkčnú.
POZNÁMKA
Skôr než vývevu odošlete výrobcovi na opravu alebo výmenu (advanced
exchange service), musíte vyplniť a odoslať miestnemu predajcovi dotazník
“Zdravie a bezpečnosť”, ktorý je pripojený k návodu. Kópiu dotazníka vložte do
balíka so zariadením a odošlite spolu s ním.
Ak je potrebná likvidácia systému, musí prebehnúť v súlade so
špecifickými predpismi danej krajiny.
14
Návod na Obsluhu
Likvidácia
182/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)
Likvidácia
Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie
doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE".
Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že
výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s bežným
domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí odstrániť ako
delený odpad.
Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s
dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za účelom
jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja.
/